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透過型分析電子顕微鏡
(TEM)


 岸本 弘立 (もの創造系領域)
 内線:5610


 川村 悟史 (技術部)
 内線:5624


 取扱講習会を受講した者、およびその講習会受講者より講習を受けた者
 ※条件付きで学外の方も利用できます


 透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)が扱うのは厚さ100nm以下の観察可能領域を持つ薄片試料である。ここに電子線を照射し,透過・散乱した電子線を電子レンズで拡大・結像することにより材料の内部構造をスクリーンに投影する仕組みである。構造的にはTEMをスライド映写機,試料をスライドに例えることができる。
 本モデルの最高倍率は100万倍である。また電子線回折像に切り替える事により結晶構造の分析が,付属EDS装置やEELS(GIF)装置により元素分析が可能である。
 TEMは,材料の極微小な領域に対して明視野像・暗視野像・電子線回折像・元素分析といった多様な観察を同時に行える点が最大の特長である。


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