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走査型プローブ顕微鏡
(SPM)


 植杉 克弘 (しくみ情報系領域)
 内線:5546

 植杉 克弘 (しくみ情報系領域)
 内線:5546

 近赤レーザーを利用する光学実験に関する知識・技能を有する職員、大学院生、学部生
 ※条件付きで学外の方も利用できます


 基本的には、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscopy:AFM)として使用している。
 AFMは原子間力(ファンデルワールス力)を利用して試料の表面を観察する装置で、先端に微小な探針の付いたカンチレバーを試料表面に接近させ、探針と試料表面の間に働くファンデルワールス引力・斥力によるカンチレバーの変位を、レーザーとフォトディテクター(光てこの原理)または、カンチレバーに内蔵した歪み検知回路により、検出・拡大している。
 検出されるカンチレバーの変位は探針と試料の表面に作用する力によるものであり、その力を一定に保つように試料ステージZ軸をピエゾ素子にて上下させることで、試料の高さ方向の情報を得ることができる。また、同時にX Y軸方向にもスキャンすることによって3次元的に試料表面形状(最大:数μm×数μmの範囲で、高低差:原子レベル~~数百nm)を得ることができる。


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