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サーマル電界放出型
走査電子顕微鏡
(FE-SEM)


 佐伯 功 (もの創造系領域)
 内線:5634


 佐伯 功 (もの創造系領域)
 内線:5634


 超高真空装置およびSEMに関する十分な知識を有する者
 ※条件付きで学外の方も利用できます


 サーマル電界放射型のFE-SEMであり、コールドタイプに比べて分解能はやや劣るが、その分放射の安定性とビーム電流は抜群に優れている。このため、付属するEBSD(電子後方散乱解析装置)およびEDS(エネルギー分散型X線分析装置)の性能を100%引き出すことができる。分解能は劣るとはいっても、FEはFE。大雑把な言い方として「30万倍程度」までの観察であれば遜色のない性能を示す。二次電子像および反射電子像の観察が可能。

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