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分析走査型電子顕微鏡
(EDS-SEM)


 佐伯 功 (もの創造系領域)
 内線:5634


 佐伯 功 (もの創造系領域)
 内線:5634


 超高真空装置およびSEMに関する十分な知識を有する者
 ※条件付きで学外の方も利用できます


 タングステンエミッターとコンパクトな鏡筒からなる使い易いSEMですが、差動排気を備え30Pa程度の低真空での観察、大型ステージの採用による8インチ試料までの観察、加えてEDS分析が行えるといった優れた機能を有します。

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