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電子線マイクロアナライザー
(EPMA)


 田湯 善章 (もの創造系領域)
 内線:5641

 沓澤 幸成 (技術部)
 内線:5947


 管理者から講習を受けた者、熟練者の指導の下での利用
 ※条件付きで学外の方も利用できます


 ある元素に電子線が照射されると、そこから特徴的な波長のX線(特性X線)が発生します。この特性X線を測定することにより、試料に何が含まれているか(定性分析)、どの部分にどの元素が存在しているか(線分析,面分析)を測定します。
 本装置は、エネルギー分散型分光器(EDS)と5器の波長分散型分光器(WDS)の両方を備えており、B~Uまでの複数元素を同時に測定することが可能です。

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